ASML comenzó a enviar su primer Litografía de alta NA herramienta a Intel a fines del año pasado y la máquina estará completamente ensamblada en Oregon en los próximos meses. Enviar solo un sistema ultravioleta extremo (EUV) con una lente de apertura numérica de 0,55 puede no parecer demasiado impresionante, pero la compañía pretende enviar una cantidad mucho mayor de estos dispositivos este año y aumentar aún más la producción en los próximos años.
ASML no reveló cuántas herramientas litográficas High-NA EUV planea enviar este año, pero la compañía ya anunció que había obtenido pedidos para estas máquinas de todos los principales fabricantes de chips lógicos (Intel, Samsung Foundry, TSMC) y memoria. (Micron, Samsung, SK Hynix), y que el número total se sitúa actualmente entre 10 y 20 sistemas. Básicamente, esto significa que el EUV de alta NA se utilizará ampliamente. Pero la pregunta es cuándo.
Los sistemas de litografía High-NA EUV Twinscan EXE de ASML son las herramientas de producción emblemáticas de próxima generación de la compañía que permitirán a los fabricantes de chips reducir las dimensiones críticas de los chips a 8 nm en una sola exposición, una mejora sustancial con respecto a los 13 nm que ofrece el Low-NA EUV Twinscan NXE actual. Pero esa mejora tiene un costo. Cada Twinscan EXE cuesta 350 millones de euros (380 millones de dólares), más del doble que el precio de un Twinscan NXE (170 millones de euros, 183 millones de dólares).
El elevado precio de las nuevas herramientas ha dado lugar a debates sobre su viabilidad económica inmediata, ya que todavía es posible imprimir características de 8 nm utilizando herramientas de baja NA, aunque utilizando patrones dobles, que es una técnica más cara y que afecta al rendimiento. Por ejemplo, Intel es esperado insertar litografía EUV High-NA en su flujo de producción para su proceso de fabricación posterior a 18A (clase 1,8 nm) a veces en 2026 – 2027, mientras que los analistas de Renacimiento chino creer que TSMC solo tiene la intención de comenzar a utilizar estas herramientas para su nodo de producción de clase 1 nm en algún momento de 2030. Otros analistas de la industria, como Jeff Koch de Semianálisistambién creen que la adopción más amplia de estas máquinas de alto costo podría no ocurrir hasta que sea económicamente sensata, lo que se anticipa alrededor de 2030-2031.
Sin embargo, los ejecutivos de ASML, incluido el director ejecutivo Peter Wennink, argumentan que la eliminación del doble patrón por parte de las máquinas EUV de alta NA proporcionará suficientes ventajas, como la simplificación de procesos y un ciclo de producción potencialmente más corto, para implementarlas antes de lo que predicen los analistas, alrededor de 2026-2027. .
Habiendo asegurado entre 10 y 20 pedidos para máquinas High NA EUV, ASML se está preparando para aumentar su capacidad de producción para satisfacer la demanda de 20 unidades anualmente para 2028. Mientras tanto, las incertidumbres sobre el plan del fabricante de chips de utilizar herramientas High-NA en los próximos dos o tres años plantea preocupaciones sobre un posible exceso de capacidad en el corto plazo a medida que ASML aumenta la producción.
